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臺式掃描電鏡具有*的機動性

 更新時間:2018-11-12 點擊量:1646
   臺式掃描電鏡具有*的機動性 
   臺式掃描電鏡是針對臺式電鏡設計的,本著臺式電鏡簡單易用,系統(tǒng)*嵌入在電鏡主機中,利用半導體制冷,無需額外冷卻系統(tǒng),采用低真空技術,出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子,正離子與樣品表面累積的 電子中和,有效抑制荷電效應的產(chǎn)生,直接觀測各種不導電樣品。 
   臺式掃描電鏡利用降低荷電效應樣品杯,更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,環(huán)境適應性高,*防震,可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當中,無需超凈間,采用燈絲、探測器、樣品 臺相對一體化的設計,震動不會引起三者間的相對運動,使成像不受震動影響,可放置在較高樓層。臺式掃描電鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng),以下提到掃描電子顯微鏡之處,均用SEM代替。 臺式掃描電鏡是一種大型精密儀器,它是機械學、光學、電子學、熱學、材料學、真空技術等多門學科的綜合應用。
   臺式掃描電鏡真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分,真空柱是一個密封的柱形容器,真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置真空要 求,則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。臺式掃描電鏡成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中,真空柱底端即為密封室,用于放置樣品。之所以要用真空,主要基于以下兩點原因:臺式掃描電鏡電子束系統(tǒng)中的燈絲 在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM時需要用真空以外,平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成像的電子更多。
 

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